Olajmentes légkompresszor a Semiconductor Labs számára

A precíziós kutatólétesítmények megbízható közüzemi vezetékeinek létrehozása érdekében a Semiconductor Labs beszállítói számára a kínai olajmentes légkompresszorból szerezzen be forrást. A DECHUAN nagy tisztaságú levegős megoldásai többrétegű szénszigetelő tömítéseket használnak a szénhidrogének nyomainak eltávolítására, így biztosítva az érintetlen gázminőséget a kritikus szilíciummaratáshoz.

Kritikus tisztatéri gáztisztasági követelmények

A félvezetőgyártásban és a vékonyfilmes litográfiában akár egyetlen mikroszkopikus csepp olajgőz, amely a levegővezetéken keresztül jut, tönkretehet egy teljes gyártási tételt. Ezt a speciális terméket úgy tervezték, hogy megfeleljen a legmagasabb tisztasági követelményeknek:

• TÜV Certified Class 0 Air Delivery: Rendszereinket szigorú tesztelésnek vetik alá változó üzemi hőmérsékleteken. A független elemzés megerősíti, hogy a kimenő levegőáramban egyáltalán nincs olajnyom.

• Korróziómentes belső levegő utak: A kompressziós kamra után minden csővezeték, hűtőköteg és elválasztó mátrix prémium rozsdamentes acélból készül, hogy megakadályozza, hogy a rozsdapelyhek szennyezzék a tisztatér levegővezetékeit.

• Fejlett Elektronikon® integráció: Az integrált vezérlő szorosan nyomon követi a működési mutatókat, és proaktív biztonsági leállításokkal gondoskodik arról, hogy soha ne kerüljön szennyezett levegő a laboratóriumi rácsba.

A mikroszennyeződés magas költsége az elektronikában

A félvezető lapkák gyártása során egyetlen csepp olajaeroszol beszennyezheti az egész tisztatéri környezetet, ami több ezer szilíciumlapka tönkretételét és milliós gyártási időkiesést okoz. A hagyományos légkompresszorok nem tudják garantálni az ezekhez a nanométeres léptékű eljárásokhoz szükséges abszolút nulla szénhidrogén tisztaságot.

A Semiconductor Labs speciális olajmentes légkompresszora tiszta folyamatbiztonságot garantál:

• Tanúsítvánnyal rendelkező CLASS 0 Air Flow: Szigorúan a TÜV által tesztelt szélsőséges hő- és nyomástartományokban az abszolút nulla olaj jelenlétének biztosítása érdekében.

• Részecskementes belső rész: A rozsdamentes acél előhűtők és a csillagbordás hőcserélők kiküszöbölik az oxidációs pelyhesedést vagy a vegyi anyagok leválását a légútban.

• Elektronikus felügyeleti pajzs: A proaktív karbantartási riasztások és az automatikus hibaleállítások megakadályozzák a rendszer eltéréseit, mielőtt azok elérnék a tisztatéri eszközöket.

Műszaki tisztasági paraméterek

• Rendszerteljesítmény: 55kw - 900kw, nagy sűrűségű konfigurációk.

• Volumetrikus szállítási sebesség: 4,2-148,5 m³/perc tiszta áramlási teljesítmény.

• Olajtartalom besorolás: ISO 8573-1 Class 0 teljesen olajmentes érvényesítés.

• Hűtési elrendezés: Rozsdamentes acél folyadékhűtés, amely megakadályozza a vegyi gázok kibocsátását.

Az egység teljesítmény-referenciafeltételeit az ISO 1217 szabvány C. melléklete, 4. kiadás (2009) szerint mérték:

· Relatív páratartalom: 0%

· Abszolút bemeneti nyomás: 1 bar

· Bemeneti hőmérséklet: 20°C A kisülési sebességet (FAD) a következő üzemi nyomásokon mértük:

Állandó sebességű típus:

·  -7,5 bar típus: 7 bar

· -8,6 bar típus: 7 bar

· -10 bar típus: 9 bar

VSD típus:

· -8,6 bar típus: 7 bar

· -10,4 bar típus: 9 bar

· (2) A munkaállomás A osztályú súlyozott emissziós hangnyomásszintje (LpWSAd). ISO 2151:2004 szabvány szerint mérve (150 9614/2 hangintenzitás pásztázó módszerrel). Az újonnan hozzáadott korrekciós tényező egy teljesen bizonytalan érték (KpAd), amely megfelel a tesztkódnak.

· (3) A súly csak tájékoztató jellegű; a ténylegesen szállított tömeg az irányadó.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Az ISO 1217 C melléklet 4. kiadása (2009) szerint az egység teljesítményének referenciafeltételei a következők:

· Relatív páratartalom: 0%

· Abszolút bemeneti nyomás: 1 bar

· Bemeneti hőmérséklet: 20°C

Az elmozdulás FAD mérése a következő üzemi nyomásokon történik:

Állandó sebességű modellek:

-7,5 bar modellek: 7 bar

-8,6 bar modellek: 7 bar

-10 bar modellek: 9 bar

VSD modellek:

-8,6 bar modellek: 7 bar

-10,4 bar modellek: 9 bar

(2) A munkaállomás A osztályú súlyozott emissziós hangnyomásszintje (LpWSAd). ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 hangintenzitás pásztázó módszer) szerint mérve. Az újonnan hozzáadott KpAd korrekciós tényező bizonytalan, megfelel a tesztkódnak.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) A súly csak tájékoztató jellegű; a tényleges súly az irányadó.

ZR/ZT 200-275 (FF)

- Relatív páratartalom: 0%

- Abszolút bemeneti nyomás: 1 bar

- Bemeneti hőmérséklet: 20°℃

A kisülési sebességet (FAD) a következő üzemi nyomásokon mértük

Állandó sebességű típus:

-7,5 bar típus: 7 bar

-8,6 bar típus: 7 bar

-10 bar típus: 9 bar

VSD típus:

-8,6 bar típus: 7 bar

-10,4 bar típus: 9 bar

(2) A munkaállomás A osztályú súlyozott emissziós hangnyomásszintje (LpWSAd).

Az ISO 2151:2004 szabvány szerint mérve (150 9614/2 (hangintenzitás szkennelési módszer) használatával).

Az újonnan hozzáadott korrekciós tényező egy teljesen bizonytalan érték (KpAd), amely megfelel a tesztkódnak.

(3) A súly csak tájékoztató jellegű; a ténylegesen szállított tömeg az irányadó.

300-750 ZR

Az egység teljesítmény-referenciafeltételeit az ISO 1217 szabvány C. melléklete, 4. kiadás (2009) szerint mérték:

· Relatív páratartalom: 0%

· Abszolút bemeneti nyomás: 1 bar

· Bemeneti hőmérséklet: 20°C A kisülési sebességet (FAD) a következő üzemi nyomásokon mértük:

Állandó sebességű típus:

·  -7,5 bar típus: 7 bar

· -8,6 bar típus: 7 bar

· -10 bar típus: 9 bar

VSD típus:

· -8,6 bar típus: 7 bar

· -10,4 bar típus: 9 bar

· (2) A munkaállomás A osztályú súlyozott emissziós hangnyomásszintje (LpWSAd). ISO 2151:2004 szabvány szerint mérve (150 9614/2 hangintenzitás pásztázó módszerrel). Az újonnan hozzáadott korrekciós tényező egy teljesen bizonytalan érték (KpAd), amely megfelel a tesztkódnak.

· (3) A súly csak tájékoztató jellegű; a ténylegesen szállított tömeg az irányadó.

ZR 200X-400X

Az egység teljesítmény-referenciafeltételeit az ISO 1217 szabvány C. melléklete, 4. kiadás (2009) szerint mérték:

· Relatív páratartalom: 0%

· Abszolút bemeneti nyomás: 1 bar

· Bemeneti hőmérséklet: 20°C A kisülési sebességet (FAD) a következő üzemi nyomásokon mértük:

Állandó sebességű típus:

·  -7,5 bar típus: 7 bar

· -8,6 bar típus: 7 bar

· -10 bar típus: 9 bar

VSD típus:

· -8,6 bar típus: 7 bar

· -10,4 bar típus: 9 bar

· (2) A munkaállomás A osztályú súlyozott emissziós hangnyomásszintje (LpWSAd). ISO 2151:2004 szabvány szerint mérve (150 9614/2 hangintenzitás pásztázó módszerrel). Az újonnan hozzáadott korrekciós tényező egy teljesen bizonytalan érték (KpAd), amely megfelel a tesztkódnak.

· (3) A súly csak tájékoztató jellegű; a ténylegesen szállított tömeg az irányadó.

Tisztatéri laboratórium felhasználói esettanulmány

Egy ázsiai elektronikai gyártó telepítette a DECHUAN speciális levegőrendszerét a nagy tisztaságú nitrogéngeneráló hurkok és pneumatikus vizsgálókarok ellátására. Korábban a szabványos kompresszorok lehetővé tették, hogy a nyomokban lévő olajgőzök elvándoroljanak a beépített szűrőkön, bevonva a litográfiai lencséket, és mikrotöréseket okozva az ostyabevonatokban. A Semiconductor Labs olajmentes légkompresszorának telepítése után a laboratórium nulla olajjal kapcsolatos vezetékszennyeződési eseményről számolt be, ami jelentős tisztatér-tisztítási és újrakalibrálási költségeket takarított meg két év folyamatos működés során.

Egyedi alkatrészek szabása és vezérlése

• Rozsdamentes acél anyag korszerűsítése: Minden szabványos belső öntvény alkatrészt kiváló minőségű rozsdamentes acélra cserélünk, hogy megfeleljünk a szigorú mikroszennyezési irányelveknek.

• Fejlett kommunikációs protokollok: Az egység előre telepítve van speciális kommunikációs protokollokkal, amelyek lehetővé teszik a tisztatéri vezérlőközpontok számára, hogy távolról figyeljék a levegő mérőszámait.

• Kompakt szerkezeti lábnyom: A belső elrendezést úgy optimalizálták, hogy minimálisra csökkentse a lábnyomot, így könnyen beépíthető szűk laboratóriumi alagsori használati helyiségekbe.

Ipari vásárló GYIK

K: Csatlakoztathatjuk ezt a kompresszort közvetlenül az ultra-nagy tisztaságú (UHP) szűrőhurokhoz?

V: Igen, a levegőkibocsátásunk teljes mértékben kompatibilis a fejlett tisztatéri szárítógépekkel és a mikron alatti részecskeszűrő rendszerekkel. Mivel a nyers levegő nulla olajgőzt tartalmaz, a speciális szűrőket nem tömíti el olajköd, meghosszabbítva a szűrő élettartamát.

K: Hogyan biztosítják a Z-típusú tömítések a zéró olajkiáramlást a hajtóműből?

V: A Semiconductor Labs olajmentes légkompresszora fizikai atmoszférikus szellőzőrésszel rendelkezik az olajjal megkent hajtóműház és a száraz kompressziós kamra között. A speciális, érintésmentes széngyűrűs tömítések negatív nyomású csatornákkal vannak párosítva, így biztosítva, hogy a hajtóműolaj-köd teljesen elzárja a tiszta levegőáramba való bejutást.

K: Mi történik, ha a belső hőmérséklet-érzékelő rendellenes leolvasást észlel?

V: Az Elektronikon® vezérlő másodpercenként többször mintát vesz a létfontosságú adatokból. Ha bármely szakaszban hőmérséklet-ugrást észlel, a rendszer azonnal automatikus leállítást indít, és lezárja az elválasztó szelepeket, biztosítva ezzel, hogy hűtetlen levegő soha ne áramoljon lefelé a laboratórium érzékeny berendezéseibe.